Technologie von MEMS-Elementen auf der Basis nanokristalliner Diamantschichten für eine hybride Integration - Joachim Kusterer - Books - Cuvillier Verlag - 9783869552842 - March 16, 2010
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Technologie von MEMS-Elementen auf der Basis nanokristalliner Diamantschichten für eine hybride Integration

Joachim Kusterer

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Technologie von MEMS-Elementen auf der Basis nanokristalliner Diamantschichten für eine hybride Integration

Media Books     Paperback Book   (Book with soft cover and glued back)
Released March 16, 2010
ISBN13 9783869552842
Publishers Cuvillier Verlag
Dimensions 144 × 208 × 12 mm   ·   164 g
Language German  

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